оригинал
По сертификации 
Введение
Массовый расходомер (MFC) состоит из трех основных устройств: датчика расхода, обтекателя потока и печатной платы, он точно измеряет массовый расход, из-за изменения температуры изменяется объем газа. MFC широко применяется в области производства полупроводников и ИС, специальных материалов, химической промышленности, нефтедобывающей промышленности, фармацевтической промышленности, защиты окружающей среды, исследования вакуумной системы и т. Д.
Типичное применение
Типичные применения MFC включают в себя микроэлектронное технологическое оборудование, такое как диффузия, окисление, эпитаксия, CVD, плазма, травление, напыление, ионная имплантация и другие области, такие как оборудование для вакуумного осаждения, плавление оптического волокна, оборудование для микрореагирования, система смешивания и согласования газа , системы управления капиллярным потоком, газового хроматографа и других аналитических приборов.
Особенности
D07-7KM MFC имеет преимущества высокой точности, длительного срока службы, отличной повторяемости, быстрого реагирования, плавного пуска, хорошей надежности, широкого диапазона рабочих давлений (хорошая работа в условиях высокого давления или вакуума), простота и удобство в эксплуатации и т. Д. Он может быть установлен там, где это необходимо, и подключен к компьютеру для реализации автоматического управления.
Спецификация
Диапазоны расхода |
(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
точность |
± 1,5% от полной шкалы |
линейность |
± 1% от полной шкалы |
стабильность |
± 0,2% FS |
Время отклика |
≤4 с |
Температурный коэффициент |
Ноль: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Диапазон: ≤ ± 0,2% FS / ℃ |
Максимальное давление |
3 МПа |
Рабочая Температура |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
Уплотнительный материал |
Витон, неопрен |
Сигнал настройки / вывода |
0В ~ + 5.00V (Входное сопротивление> 100K, Выходной ток≤3ma) |
Источник питания |
+ 15В 50 мА -15В 50 мА |
Электрическое подключение |
D sub 15 штырьков Женский |
Перепад давления |
0,01> |
Скорость утечки |
1 × 10-8 атм • cc / sec He (1 × 10-9 Па • м3 / сек He) |
Стандартное соединение |
SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (Внутренний) × 1 Соединитель для шланга, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (внутренний) × 1 Шланговый соединитель |
СМИ |
Весь газ |
Emi |
CE |
вес |
0.92kg |
Размер установки
http://ru.ikstechnology.com/
